大族激光科技產業集團股份有限公司聯合深圳大學/深圳技術大學團隊等共同申報的項目《百瓦級紫外皮秒/納秒激光器關鍵技術及系列智能制造裝備》獲批2021年度廣東省科技進步獎一等獎。
高功率長壽命紫外激光器及其智能制造裝是消費電子產品和半導體產業精密加工的核心利器，其性能直接影響高端電子和芯片產品的品質。隨著消費電子產品和芯片尺寸、精度及品質要求的提高，工業紫外激光器功率和壽命及電子領域加工裝備關鍵技術等方面仍面臨難題，亟待突破。
項目組歷經多年自主研發和技術攻關，突破了紫外激光器功率和壽命的技術瓶頸，研究了LBO晶體紫外光損傷機理，攻克了非布儒斯特切角晶體三倍頻技術，使晶體單點工作壽命突破8000小時;提出了光纖/固體混合放大技術，解決了紫外激光器工程化及工藝難題，獲得了百瓦系列皮秒/納秒紫外激光器。
1.研發了多軸高精度紫外激光金屬鍍層去除裝備。針對智能手機通訊信號被金屬中框鍍層屏蔽的工程技術難題，提出了紫外激光去除金屬鍍層的新工藝。
2.研發了紫外激光電路板多層異形加工裝備。發明了激光動態變焦多層及分層切割新方法，攻克了新一代SiP封裝技術難題，突破了SiP封裝電路板超厚加工。
3.研發了先進半導體晶圓紫外激光加工裝備。發明了激光聚焦光斑形狀及大小精確控制方法，攻克了晶圓表面開槽和切割中脆性材料崩邊和裂紋工藝難題，使加工效率提高。
該項目獲授權發明專利20項、實用新型32項、軟著5項、論文16篇、企業標準2項，獲2017年深圳市科技進步一等獎、2017年亞洲唯一入圍國際光學工程學會“棱鏡獎”等。50多款激光裝備產品暢銷國內外，被眾多著名企業廣泛應用，取得較大的經濟效益。項目成果的實施顯著提高了激光精密制造行業的科技進步，提升了激光制造技術國際競爭力。文章來源｜深圳技術大學，有增刪
